XRF分析儀使用X射線熒光技術進行材料厚度和成分分析。 X射線是由德國物理學家Wilhelm Rontgen在1895中發現的。 他稱未知的光源導致他的電影曝光“X射線”并用手的X射線圖像發表了他的發現。

現在已知X射線是電磁輻射的一種形式，頻率在紫外和伽馬射線之間。大多數X射線的波長從0.01到10納米，如圖1所示，頻率從低到高排列。

康拉德倫琴獲得1901年度第一屆諾貝爾物理學獎。

X射線也可以被定義為粒子（光子），并且使用能量單位eV來描述。能量單元和波長單元是可互換的。因此，X射線既是一個波，又是一個粒子。這是理解X射線性質的一個重要概念。

X射線可以由軔致輻射產生，這因為電子或另一帶電粒子的偏轉。在X射線管內，電子被加速到靶材料上。在撞擊時，電子的動能轉換X射線和熱能。

值得注意的是，波的性質不能解釋光電效應。愛因斯坦和普朗克提出光的行為不像波，而是像具有特定能量離散的“包”。幾年后，美國化學家Gilbert Lewis命名光包為光子。但是直到1923，當美國物理學家亞瑟康普頓發現X射線散射時，人們仍然懷疑愛因斯坦的理論。他用X射線對石墨進行轟擊，發現散射X射線的能量較低。這種現象被稱為康普頓散射，這是由愛因斯坦普朗克理論解釋的。在與電子碰撞時，像X射線這樣的粒子將其動量的一部分傳遞給電子，因此X射線在不同的方向上偏轉，發射的能量和波長不同。

雖然愛因斯坦-普朗克理論解釋了康普頓散射，但有一個問題。為了擁有動量，光子必須有質量，因為經典物理學中，動量的定義是質量時間速度。但是光子沒有質量。這個答案來自愛因斯坦，他假設，在基本的意義上，能量和質量是相等的，可互換的。他將他的概念融入了關系中，E=MC2。多年后，愛因斯坦因其光電理論而獲得諾貝爾物理學獎。

X射線熒光與光電相互作用有關。 當發生光電相互作用時，電子從其軌道上被敲擊，從而形成空位。 來自較高能量軌道的電子可以移動以填補該空位。 兩個軌道之間的能量差以熒光X射線（即次級X射線）的形式釋放。 來自每個元素的熒光X射線具有特征能量，稱為特征X射線。